這禮拜的維修真的有夠多，機台一直停機idle都飽了
雖然上禮拜對環境考量面頗有微詞，不過還是乖乖的把它做完了！但是我沒有像OP組長做得那麼認真，還計算使用量，我就大概乘以一個數值就交差了，好像有點太混了齁>"<
本周從藍光段切到白光段，切回白光段才知道藍光段多麼歡樂，因為長白光就有亮度的壓力了！藍光的話自己一台長得很開心，而且晶粒大顆長，怎麼長怎麼亮，呵呵。由於白光缺片的關係，所以也改回傳盤子的方法，很奇怪的是，切回短波之後，波長亂跑的現象好像就沒有這麼嚴重了耶，還是因為波長比較常可以丟藍光，而不是直接報廢，所以壓力沒有那麼大之後，感覺就比較不明顯了吧~XD
切回長白光，剛好又遇到製程異常(鍍ITO的Gun有問題)，整個片子超級不亮，快把我嚇死了，還以為機台異常，導致亮度下降很多，不過ESD的問題倒是困擾我很久，總會有幾片的ESD要掛不掛的，囧翻。開始著手實驗來解決ESD的問題吧！
上禮拜申請的名片，這禮拜拿到囉！看著名片上印著研發一部跟自己的姓名，忽然有種「Level up !」的感覺，彷彿還可以聽到QD(遊戲：勇者鬥惡龍)升級時的音樂~XDDD
某天晚上九點多接到公司電話，OP跟我說打開腔體後，片子整個是銀黑色的，機台要讓他繼續run還是要停機？我請他打給設備之前有沒有遇過這種問題，然後我趕緊call師父這種情況之前有沒有遇過，師父跟我說就給他停機吧，說不定機台內部出問題，這時候Run下去也只會多一批的報廢片而已。
隔天早上來看一下機台情況，片子表面是呈現合金的銀白色，可能是Ga或是In，懷疑是壓力異常或是氣體管件閥門異常，導致只有MO source上去，氨氣沒有通入。
把壓力圖調出來檢查之後，發現壓力是被setting到10 mbar，5分鐘後再回到原本程式的200 mbar，首先懷疑是人為調整壓力，可是令人疑惑的是，怎麼會知道要回到200 mbar? 而且如果是人為設定的話，應該馬上就降到10mbar，而系統會判定壓力下降異常而跳機，但是沒有這種情形出現。
而後又調出其他管件閥門跟流量，發現在異常的那個時間點之後，所有的管件閥門全部在同一時間關起來，如果是人為去設定的話，不可能一次做動這麼多步驟。於是懷疑可能是夜班的設備在解alarm時，誤觸機台idle的程式設定，使得機台跑了這個idle的程式，導致所有氣體閥門關閉，但是跑完之後系統會自動接上原本在跑的LED程式，這才解釋為什麼會回到異常前的壓力設定200mbar。
至於只有MO source的通入，氨氣完全沒有進去反應，則是因為程式寫法的關係，Run閥從一開始就打開直到結束才關上，所以如果是中間被關上的話，根本沒有再將其打開的步驟。而MO source是會一直做切換，所以Run閥和Line閥會被寫上open或close，故僅有MO source的通入，導致試片表面呈現合金的銀白色。
在找到原因之後，讓機台烤Bake後續run LED程式，發現Mg和In這兩種固態source的加熱帶無法加熱，使得程式一直卡在某個步驟無法往下跑，以為是加熱帶的加熱產生異常，檢查電路後發現沒有任何異常，經驗老道的設備課長這時候看了一下操作介面，發現是產生異常的那個idle程式把加熱功率關掉，所以並不是電路異常導致無法加熱，而是沒有設定輸出功率給加熱帶。又多認識一個功能了~XD
此次人為疏失造成的機台系統異常，報廢一個Run，停機idle15小時，回復Run的ESD又全掛，前前後後加起來，大概有四個正常生產Run吧。
天啊 = =
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