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[工作] The 12th week



    這禮拜的維修真的有夠多,機台一直停機idle都飽了



    雖然上禮拜對環境考量面頗有微詞,不過還是乖乖的把它做完了!但是我沒有像OP組長做得那麼認真,還計算使用量,我就大概乘以一個數值就交差了,好像有點太混了齁>"<



    本周從藍光段切到白光段,切回白光段才知道藍光段多麼歡樂,因為長白光就有亮度的壓力了!藍光的話自己一台長得很開心,而且晶粒大顆長,怎麼長怎麼亮,呵呵。由於白光缺片的關係,所以也改回傳盤子的方法,很奇怪的是,切回短波之後,波長亂跑的現象好像就沒有這麼嚴重了耶,還是因為波長比較常可以丟藍光,而不是直接報廢,所以壓力沒有那麼大之後,感覺就比較不明顯了吧~XD


    切回長白光,剛好又遇到製程異常(鍍ITO的Gun有問題),整個片子超級不亮,快把我嚇死了,還以為機台異常,導致亮度下降很多,不過ESD的問題倒是困擾我很久,總會有幾片的ESD要掛不掛的,囧翻。開始著手實驗來解決ESD的問題吧!



    上禮拜申請的名片,這禮拜拿到囉!看著名片上印著研發一部跟自己的姓名,忽然有種「Level up !」的感覺,彷彿還可以聽到QD(遊戲:勇者鬥惡龍)升級時的音樂~XDDD




    某天晚上九點多接到公司電話,OP跟我說打開腔體後,片子整個是銀黑色的,機台要讓他繼續run還是要停機?我請他打給設備之前有沒有遇過這種問題,然後我趕緊call師父這種情況之前有沒有遇過,師父跟我說就給他停機吧,說不定機台內部出問題,這時候Run下去也只會多一批的報廢片而已。

    隔天早上來看一下機台情況,片子表面是呈現合金的銀白色,可能是Ga或是In,懷疑是壓力異常或是氣體管件閥門異常,導致只有MO source上去,氨氣沒有通入。

    把壓力圖調出來檢查之後,發現壓力是被setting到10 mbar,5分鐘後再回到原本程式的200 mbar,首先懷疑是人為調整壓力,可是令人疑惑的是,怎麼會知道要回到200 mbar? 而且如果是人為設定的話,應該馬上就降到10mbar,而系統會判定壓力下降異常而跳機,但是沒有這種情形出現。

    而後又調出其他管件閥門跟流量,發現在異常的那個時間點之後,所有的管件閥門全部在同一時間關起來,如果是人為去設定的話,不可能一次做動這麼多步驟。於是懷疑可能是夜班的設備在解alarm時,誤觸機台idle的程式設定,使得機台跑了這個idle的程式,導致所有氣體閥門關閉,但是跑完之後系統會自動接上原本在跑的LED程式,這才解釋為什麼會回到異常前的壓力設定200mbar。

    至於只有MO source的通入,氨氣完全沒有進去反應,則是因為程式寫法的關係,Run閥從一開始就打開直到結束才關上,所以如果是中間被關上的話,根本沒有再將其打開的步驟。而MO source是會一直做切換,所以Run閥和Line閥會被寫上open或close,故僅有MO source的通入,導致試片表面呈現合金的銀白色。



    在找到原因之後,讓機台烤Bake後續run LED程式,發現Mg和In這兩種固態source的加熱帶無法加熱,使得程式一直卡在某個步驟無法往下跑,以為是加熱帶的加熱產生異常,檢查電路後發現沒有任何異常,經驗老道的設備課長這時候看了一下操作介面,發現是產生異常的那個idle程式把加熱功率關掉,所以並不是電路異常導致無法加熱,而是沒有設定輸出功率給加熱帶。又多認識一個功能了~XD


    此次人為疏失造成的機台系統異常,報廢一個Run,停機idle15小時,回復Run的ESD又全掛,前前後後加起來,大概有四個正常生產Run吧。

    天啊 = =


 


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